【吸着力アップ】 多孔質セラミックス着脱式チャック・第２弾レンタル開始！｜明日咲く通信 メルマガ

Vol.112　2021年2月12日

明日咲く通信 編集員です。

２月になりました。
信州は寒さの厳しい毎日です。皆様、いかがお過ごしでしょうか。

延期されたオリンピック・パラリンピックまで、あと５ヶ月ですね。
渡航制限が続く中、いつものオリンピックは難しいといった声もあります。

しかし、国内でワクチン接種が開始されるニュースがあり、 感染者も減少傾向になるなど、明るい兆しも少しずつ感じられます。　

春頃には暖かさと共に、長かったコロナ禍のトンネルを抜け出せると良いなと思います。
そのためにも、しばらくは気を抜かず、マスク着用や手洗いなど対策を徹底したいものです。

さて、今号では、『着脱式の多孔質チャック・第2弾』と題し、新しい素材をご紹介いたします。
前号では、「光沢鏡面仕上げの多孔質素材： AZPS40」を取り上げましたが、今号では、吸着力を向上させた多孔質素材： AZPV60をご紹介します。 着脱式 (アタッチメント式)ですので様々な多孔質を比較ご検討頂けます。

また、弊社の新しい搬送ハンドLeviZac™ が『電子デバイス産業新聞』（2021年1月28日付）に掲載されましたので、その記事もご紹介いたします。

後半のケ・セラセラのコーナーでは、弊社海外営業社員が、コロナ対策を取りながら過ごした年末年始の休日の様子を写真で紹介しておりますので、ぜひ最後までお読み下さい。

 

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◆今月のお知らせとホームページ更新状況◆
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【吸着力バツグン！】高通気性多孔質セラミックス（AZPV60）
アタッチメント式チャック・デモ機 ＜第２弾＞ 貸し出しを開始します！

フィルターや吸着のご用途でご利用いただいております多孔質セラミックスの中で、前号でご紹介しましたAZPS40は特に気孔径が5～30μｍと小さいため、薄いフィルムやウエハに吸着痕をつけにくく吸着が出来るタイプです。

しかし、通気率が小さく、気孔率は40％であることから応答性や吸着にもの足りなさを感じるとのお声を頂戴しておりました。

これに代わる材料として気孔径は約30μｍ、通気率はAZPS40の30倍以上、気孔率60％となるAZPV60をアタッチメント式のデモ機に搭載し貸し出しを開始いたします。

多孔質部を取り替えることのできるアタッチメント式デモ機はAZPV60とAZPS40との比較が容易に出来るため効果の確認が出来ます。AZPV60は主成分のアルミナ純度が高く、気孔径が比較的小さい材料であるため、コンタミ抑止に優れ、ワークを変形させずに吸着が出来る高通気率アルミナセラミックスです。

この度、Φ160の吸着ステージのデモ機をご用意いたしましたので是非お試しください。貸し出しは無料です。

　■高通気性多孔質セラミックス(AZPV60) 及びアタッチメント式チャック・デモ機
　外形寸法：Φ170×厚み26ｔ（組み付け時）※多孔質部はΦ160×8ｔ

【お問い合わせ先】
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業チーム
TEL:026-248-1626、FAX:026-251-2160
または、お問い合わせフォームからもお問い合わせ・貸し出しを承ります。

電子デバイス産業新聞に新製品　LeviZac™ が掲載されました。

メルマガVol.110に掲載をいたしましたベルヌーイ方式の浮上式搬送ハンド LeviZac™ が『電子デバイス産業新聞』（2021年1月28日付）に掲載されました。
薄く反ったウエハを搬送可能とし、気流が通る空洞部は接着剤やSUS蓋を使用せずに形成していますので経年劣化による「蓋の剥がれ」や「接着剤からの発塵、アウトガス」といったリスクは一切なく、長期間安心してご利用頂けます。
尚、LeviZac™ の “Levi” は「Levitate: 浮上させる」の意味です。

お問い合わせはこちらから

★業界初★　非接触型ベルヌーイハンド・LeviZac™ 発売開始！

アスザックは昨年12月より、反りのあるウエハを搬送できる大気用搬送ハンド LeviZac™ の発売を開始いたしました。
８月に発売した外周吸着ハンド PeriZac™に続き、自社ブランド製品「第２弾」です！

大型ウエハに対応した浮上式のセラミックハンドでは業界初です。
Levi- は、Levitate (浮上させる) / Levity (軽さ) を意味します。

浮上原理にはベルヌーイ方式を採用しました。
エア噴射による気流でウエハを浮上させ、張力により吸引・保持し、ウエハへの負荷を極限まで軽減させました。 更に、ユーザー様のお悩みの一つ「薄く反ったウエハ」もラクラク搬送可能です。

8インチ用・12インチ用の2タイプ（標準品）をご用意しました。
常備在庫が有る場合、受注後、1週間以内に即納可能です。

また、根本の幅や取り付け穴の位置・サイズはご要望に応じてカスタマイズ可能です。
（但し、加工内容により日数が別途必要となります。）

気流が通る空洞部はセラミック内部に形成します。
接着剤やSUS蓋を使わないため、経年劣化による「蓋の剥がれ」や「接着剤からの発塵、アウトガス」といったリスクは一切なく、長期間安心してご利用頂けます。
また貼り合わせタイプより安価で、薄型化が可能です。

 

【主な特徴】

• ・薄く反ったウエハを搬送できます。
• ・ウエハへのストレスを大幅に軽減。
• ・アスザック独自の”空洞⼀体技術”で薄型化が可能。
• ・狭いスリットへも楽にウエハを搬入できます。
• ・接着剤不使用・一体物だから丈夫で長持ち。取替コストを節約。
• ・ウエハのズレ・落下防止のための外周ガイド以外は非接触を実現。

(ウエハの下面を保持した状態)


(ウエハを保持したまま180°回転した状態)

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当社新製品 PeriZac™ 好評発売中！

ウエハ外周吸着ハンド-PeriZac™は、搬送時や接触により発生するベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制します。
また、ガイドには、ウエハにダメージを与え難い材質を使用しています。
お客様のご要望に応じて、取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更にも対応が可能です。
センサー取り付けなどのオプションにも対応できます。

ご興味のある方は、ぜひお気軽にお問い合わせください。



詳細はこちらから→

【平滑性良好！】光沢仕上げ多孔質セラミックス（AZPS40）の着脱式デモ機を貸し出します！

フィルターや吸着のご用途でご利用いただいております多孔質セラミックスの中で、
AZPS40は特に気孔径が小さいため、薄いフィルムやウエハに吸着痕をつけにくく吸着が出来るタイプです。

多孔質セラミックスは無数の気孔を設けてポーラス状にしているため表面に凹凸があり、表面粗度の指定をお請けすることが出来ずにおりましたが、この度、特殊加工技術により滑らかな表面仕上げを実現いたしました。

研磨加工を行い平滑に仕上げることから光沢仕上げが可能となり、フラット性が増し平面度は6ミクロン以下が可能となりました。より面精度を要求される吸着ステージやワークに傷をつけにくくしたいとのご要望にお応えできます。

更に、このAZPS40を使用したΦ160×8ｔの多孔質を着脱できるデモ機をご用意しましたのでぜひお試しください。
貸し出しは無料です。

今後、着脱式デモ機でお試し出来る弊社多孔質セラミックスの種類を増やして参りますので、試してみたいグレードがございましたらお申し付けください。

　■平滑性多孔質セラミックス（AZPS40）及び 着脱式チャック・デモ機
　外形寸法：Φ170×厚26ｔ（組み付け時） ※多孔質部はΦ160×8ｔ

　

 

 

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Fセラニュースを更新しました

溶融珪素を含浸させてつくる繊維強化RB-SiC

C/C複合材料のマトリックス前駆体として炭素化収率28,31,44,56,65,85 %のエポキシ、フェノール、ポリフェニルアセチレン樹脂を使用した。マトリックスは、フィラー粉末を添加することで変化させた。

珪素化は、適度な溶融温度（1700から1750 K）で注意深く熱処理するか、または炭素マトリックスを速くかつ完全にRB-SiCに転換するために高温（2200 K）で行う。最適な転換を行うための温度は炭素結合試料の初めの気孔率や気孔径分布に強く依存する。

続きはこちらから→

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　 ◆ケ・セラセラミック のひとこと◆
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年末年始に木島平スキー場に行ってきました。
「新型コロナウィルス」感染拡大している中、3密を回避できる場所で年末年始の休日を過ごそうと思って、会社の先輩を誘い、二人で木島平スキー場に行ってきました。

人がたくさんいる食堂に行かないように、事前に昼ごはんとお湯を用意し、休憩や昼飯は車の中ですることにしました。

年末の大雪で、山のほうはかなり雪が積もっていました。

天気も晴れて、絶景を見ることができました。

 


最後はツーショット写真

 
以上、年末年始の休日でした。
最後までご覧いただき、ありがとうございました。