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炭化ケイ素（SiC)｜セラミックス材料

材　料

炭化ケイ素（SiC）

炭化ケイ素（SiC）

  • 炭化ケイ素(SiC)

  • 炭化ケイ素(SiC)

    炭化ケイ素とは1400℃以上の高温にも耐え、熱衝撃にも強く化学的安定性も非常に優れ、ファインセラミックスの中でも高い耐食性を備えた素材です。
    ヤング率が高く、熱膨張係数も小さいので、高精度を必要とする部品に使用されています。
    最近は高い熱伝導率からヒーター周辺部品として使用されることも増えてきています。
    半導体装置で使用できる通常グレード（A-SiC）から重金属を極力抑えた （SiC-3N)の２グレードを取り揃えております。

  • 特長

    • 炭化ケイ素（SiC）は、熱伝導率が高い

    • 炭化ケイ素（SiC）は、熱衝撃に強い

    • 炭化ケイ素（SiC）は、耐摩耗性がある

    • 炭化ケイ素（SiC）は、耐熱性に優れる

    • 炭化ケイ素（SiC）は、耐薬品性がある

    • 炭化ケイ素（SiC）は、比重が軽い

  • 目的・用途

    • ヒーター周辺部材

    • 耐プラズマ部材

    • 半導体LED用トレイ

特長

アスザックでは、一般的な炭化ケイ素(A-SiC)の他に、高純度炭化ケイ素(SiC-3N)のグレードも用意してございます。
用途に応じてお選びください。

  • 炭化ケイ素 SiC 特長

    炭化ケイ素（A-SiC）

    一般的なSiCです。高温度、高強度、高剛性を有し、機械強度が高い素材です。

    高純度炭化ケイ素(SiC-3N)

    SiC-3Nは、当社の通常のSiCと比較して、純度は同程度ですが、重金属を極力減らした素材です。

高純度炭化ケイ素(SiC-3N)

SiC-3Nは、重金属を極力減らした素材です。
当社の通常のSiCとも比較しても、純度的には同じですが、各金属元が少なくなっております。
高純度炭化ケイ素 SiC

  • 不純物分比較

    高純度炭化ケイ素 SiC　不純物分比較
    ※A-SiCは、アスザックオリジナルの一般的なSiCです。

SiC接合技術

耐高温、熱衝撃に強く、化学的安定性も非常に優れた高純度なSiCを接着剤を使わずに接合します。
切削や研削では難しい複雑な形状や、高気密な液体・気体の流路を一体構造で製作し、部品数の低減による コスト削減や信頼性の向上に貢献します。

  • 耐熱・耐腐食ガス用途ノズル

    耐熱・耐腐食ガス用途ノズル

  • 耐熱・耐腐食ガス用途ノズル

  • 熱交換液の循環路

    熱交換液の循環路


こんな形のSiCが欲しいというご要望にお応えします。ぜひお問合せください。
形状・仕様によっては製作可否や仕様の変更をお願いすることがございますが、まずはお問合せください。

炭化ケイ素 他 物性一覧

  ASiC SiC3N アルミナ コルシード アルシーマ
純度 ％ - 99.9 99.6 - -
色調 - 黒色 黒色 象牙色 黒灰色 灰色
密度 g/cm3 3.14 3.19 3.94 4.24 2.41
機械 曲げ強さ MPa 410 450 370 310 146
ヤング率 GPa 430 446 390 288 115
硬度 GPa
28.0
28.0
 14.7 10 6.5
ポアソン比 － 0.17 0.17 0.24 0.27 0.29
破壊靭性 MPa m1/2 2～3 2～3 4 3 1.4
熱 熱膨張率 x10-6
[常温～800℃]		 4.1 4.1 7.7 8.8 2.1
熱伝導率 W/(m・K)
170
140
 32 5.5 2.9
比熱 J/(kg・K) 0.68×103 0.57×103 0.78×103 0.67×103 0.75×103
電気 誘電率 [1MHz] － － 10.2 - 4.8
誘電正接 tanδ x10-4[1MHz] － － 70 - 50
体積抵抗率 Ω・cm 5×106 5×108 >1015 1 >1014
耐電圧 kV/mm － － 13 - 14.5
光 反射率 ％
[波長240～2,600nm，
測定面Ra0.8程度］
11.1～25.1
17～31
 - 10.0～26.6 -
特徴・用途等   高耐熱性
高強度
耐磨耗性
静電気対策
 高耐熱性
高強度
耐磨耗性
静電気対策
 高強度
絶縁性大
耐磨耗性		 導電性
（高温では
還元雰囲気
での使用）		 低熱膨張率
高耐熱
衝撃性
低熱伝導性
断熱材
※破壊靭性について、アルシーマとコルシードのみSEVNB法で、他はSEPB法です。



炭化ケイ素 アスザックと他社製造法との物性比較例

メーカー 　 アスザック アスザック A社 B社 C社
製品名 　 ASiC SiC3N
製造方法 　 常圧焼結 常圧焼結 ホットプレス CVD Si-SiC
密度 g・cm3 3.15 3.18 3.15 3.21 3.05
ビッカース硬度 　 28 28 22 26 ─
曲げ強度 Mpa 410 450 600 590 220
弾性率 Gpa 430 430 390 450 280
破壊靭性 Mpa/cm^0.5 2.5 2.5 4.4 ─ ─
熱膨張率 E-6/K 4.1 4.1 4.3 4 4.8
熱伝導率 W/m・K 170 140 230 250 225
※上記数値は参考値です。製品の形状や使用状態により異なる場合があります。
※反射率は光の波長によって異なります。詳細をご希望の方はお問い合わせ下さい。
※破壊靭性について、アルシーマとコルシードのみSEVNB法で、他はSEPB法です。



アルミナとSiC（炭化ケイ素）の水中投下実験

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