セラミックス製品 多孔質チャック
製 品
多孔質チャック
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チャックとは
微細な孔で構成された多孔質セラミックスチャックです。
多孔質セラミックスが開発されるまでは細かな穴を開けて薄いワークに対応してきましたが、その僅かな凹みが、フィルム、極薄ウエハの回路にダメージを与え、使用出来ない事が増えています。多孔質セラミックスを使用することで改善され、フィルム、ウエハ保持に活躍の機会が増えてきています。
目的・用途
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多孔質 小型吸着パッド
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ウエハチャック
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多孔質大型吸着ステージ
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コレット
微細な孔で構成された多孔質体なので、
薄い板厚のワークやフィルム状ワークの吸着に適しています。
吸着部「多孔質アルミナセラミックス：AZPW-40」
外周部「緻密質アルミナセラミックス：AR-99.6」
樹脂多孔質では使用できない数百度の高温環境でもセラミックスならば耐えられます。
ワーク形状や材質、取付ける装置、ご使用される環境に合わせたカスタム品を製作します。
サイズや形状、ベース部分の材質など様々な仕様にお応えします。
一品から製作しますので試作や多品種ワークのオリジナル専用チャックに！
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アスザック独自開発
薄型多孔質チャックの吸着テスト -
SiC 炭化ケイ素 多孔質セラミックス
チャックの吸着テスト
従来品との歪み比較
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ゴムパッドタイプ
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多孔質パッドタイプ
・ゴムパッドではワークが歪んでいますが、多孔質パッドはフラットな面で均一に吸着するためほとんど歪みが起きません。
・穴の痕がつき難くなります。
浮上中 エア圧：0.3MPa（φ300×0.7tダミーウエハ）
多孔質 非接触浮上ステージ
ガラス基板・ウエハやフィルム、電子部品が搬送装置との接触によるキズやコンタミの問題を解消！
目の細かな多孔質セラミックス全面からエアを吹き出すことによって搬送品を非接触で浮上できます。
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- 傷がつきにくい
接触によるキズが付きにくくなります！
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- メンテナンス
フリーに
ベアリングやローラーなどの消耗部品がなくなるため、メンテナンスフリーが望め、装置のコンパクト化が図れます！
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- 搬送作業が容易に
多孔質チャックにも浮上機能を持たせることもできるので、加工などの作業が終わったら浮上させて次の工程に移動させ易くなります！
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- 金属コンタミが
発生しない
ポーラス体(多孔質)は高純度セラミックスのため金属コンタミが発生しません！
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接触タイプの搬送方法
ローラーコンベアなど -
非接触タイプの搬送方法
多孔質セラミック非接触浮上
目的・用途に応じて素材やサイズも対応いたします。
テスト用にレンタルも可能です。
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黒色チャック
吸着部「黒色多孔質アルミナセラミックス：AZPWB40」
外周部「黒色緻密質アルミナセラミックス：ARB99.6」光の反射を抑えた黒色の吸着面になっています。
・光学検査治具向けに
・汚れが目立たない -
一体型チャック
吸着部「多孔質SiCセラミックス：AZPS40」
外周部「緻密質SiCセラミックス：ASiC」・接着剤不使用のため、耐熱（600℃（大気））、対薬品性に優れます。
・吸着部、本体ともにSiC接合品ですので、熱伝導率が良い（170.0W/(m・K)）。
・側面に吸着ポート（Rc1/8）が加工されています。
アスザックの多孔質セラミックス
ハンドの従来品との比較
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従来品
ある程度の吸着穴が必要で薄いウエハは凹みが発生してしまいます。
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多孔質ハンド
ウエハ吸着部分を多孔質で埋め込む事により、薄いウエハにダメージを与えない構造になっています。
多孔質セラミックスハンド・チャック吸着比較実験
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吸着力がアップした新開発コレット
重いワークを吸着できます。
（基板サイズ □10 mm、280mg）
実際の環境でテストが可能です。
ぜひお気軽にお問い合わせください。
お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間：9:00～17:00（土日祝休み）
FAX : 026-251-2160
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