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セラミックス製造 搬送ハンド

製　品

搬送ハンド

搬送ハンド

  • 搬送ハンドとは

  • 搬送ハンドとは

    シリコンウエハをロボットを使い、カセットやプロセスチャンバーからの出し入れする際に使用します。
    セラミックスを使う理由としましては、高強度によるタワミ削減、高温環境にも強く、金属汚染、発塵といった問題点を解決する為に使用されています。

目的・用途

  • 空洞一体型ハンド

    空洞一体型ハンド

  • トレイ式ハンド

    トレイ式ハンド

  • 多孔質埋め込みハンド

    多孔質埋め込みハンド

材 料

以下の3種類からお選びいただけます。
※サイズにより製作できない材料もございます。

  • アルミナ

    アルミナ

    電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もある割に比較的安価で、 ファインセラミックスの代表的な材料です。

  • 炭化ケイ素

    炭化ケイ素

    ダイヤモンド、炭化ホウ素に次ぐ硬さを持ち、耐熱、耐摩耗性、ヤング率が高く、熱膨張係数が小さい化学的安定性に優れた材料です。

  • コルシード

    コルシード

    金属に近い導電性を有し、緻密質でパーティクル対策に有効な材料です。

  • アスザックの中空一体成型オリジナル搬送ハンド

    アウトガスゼロ接着剤不使用

    アスザックの中空一体成型搬送ハンド

    接着剤を使わずに空洞を成形できるため、接着剤を使うことで起きる問題の心配がなく、製作コストも削減できます。
    高温下での使用も出来、耐久性が良く、有機系のアウトガス対策にも有利です。
    大気使用のハンドです。

  • 最小
    (mm)    		 最大
    (mm)
    A全体の厚み 1.5 4
    B中空部の厚み 0.5 0.7
    C中空部と表面の壁厚み 0.5 -
    D中空部の幅 2 6
    E端面からの限界距離 2 -
    F吸着穴径 10 230
    G中空部の長さ - 360

    ※製品サイズによりますので詳しくはお問い合せ下さい。

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