アルミナ|セラミックス材料
材 料
アルミナ
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アルミナ
アルミナとは酸化アルミニウムのことで、セラミックスの中で最も汎用性のある素材です。
アルミナは電気絶縁性が高く、耐摩耗性、化学的安定性もありながら比較的安価で、 ファインセラミックスの代表的な材質です。
アスザックでは、高純度、高性能な各種グレードのアルミナセラミックスを取り揃えています。
アルミナ(Al2O3)の中でもアスザックは、通常アルミナで4グレード【AR-99.6、ARW、ARK、AR-4N】、特殊アルミナで2グレード【AR(B)、AR(B)-99.6】を取り揃えております。
以下にそれぞれの特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。
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特長
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アルミナは、耐プラズマ性、絶縁性に優れる
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アルミナは、空洞一体型製品が対応できる
アルミナは、全長4mまで製造可能
アルミナは、各種コーティングの対応が可能
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アルミナは、黒色を有する低反射素材もある
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目的・用途
半導体・液晶装置のチャンバー部品
半導体搬送ロボットハンド
G10に対応した液晶ロボットハンド
絶縁部材
グレード別特長
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AR-99.6
ファインセラミックスの中でも機械的、熱的、電気的、磁気的、科学的に優れた特性を持つ材質がアルミナです。
その中で半導体製造工程において必要純度を有する99.6%以上。
指先サイズの小物品からアスザックが得意とする長さ4mの長尺品や空洞一体型製品までお客様のご希望に沿った商品をご提供することが出来ます。 -
ARW / ARK
ドクターブレード法という成型法で作られる薄型のアルミナです。1mm前後の薄型製品の製造が可能です。色は白色で、アルミナ基板、ダミーウエハなどに実績があります。
ARWは純度99.6%で、ARKは純度96%です。 -
AR-4N
アルミナ純度は99.99%になります。特に不純物を制限されている用途には効果的なグレードです。
AR-99.6 AR-4N Na濃度 0.08%以下 0.003%以下 K濃度 0.01%以下 0.001%以下 Fe濃度 0.09%以下 0.003%以下 Ti濃度 0.01%以下 0.001%以下 -
AR(B)/AR(B)-99.6 ブラックアルミナ
アルミナの機械的特性を保有しつつ、反射率の低いセラミックスです。 現在半導体・液晶製造装置用のアルミナ系ファインセラミックスは、白色又はアイボリー系が主力で光源周囲や焦点面周囲の部品として使用された場合、光を反射しフレア等の原因となりますが、ブラックアルミナは、ファインセラミックスの特長である強度、 耐久性を維持しながら表面反射を抑える事ができます。(反射率は波長240~2600nmで5.1~15.3%)
大気中での使用可能温度は300℃と光源近くの過酷な使用環境に耐えることができます。
お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間:9:00~17:00(土日祝休み)
FAX : 026-251-2160
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