セラミックス製品 チャンバー部品
製 品
チャンバー部品
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チャンバー部品とは
半導体製造装置の真空部品として当社品の採用が進んでいます。ウエハをクランプしたり、耐プラズマ用部品としてアルミナや炭化ケイ素（SiC）の使用が増えています。
半導体の微細化や超高層化が進む中で、そのプロセスに対応できる材料をご提供することができます。
目的・用途
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トレー
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シールド
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リング
お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間：9:00～17:00（土日祝休み）
FAX : 026-251-2160
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