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セラミックス製品 チャンバー部品

製 品

チャンバー部品

チャンバー部品

  • チャンバー部品とは

  • チャンバー部品とは

    半導体製造装置の真空部品として当社品の採用が進んでいます。ウエハをクランプしたり、耐プラズマ用部品としてアルミナや炭化ケイ素(SiC)の使用が増えています。
    半導体の微細化や超高層化が進む中で、そのプロセスに対応できる材料をご提供することができます。

目的・用途

  • トレー

    トレー

  • シールド

    シールド

  • リング

    リング

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