コルシード｜セラミックス材料
材 料
導電性コルシード
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コルシードとは
アスザックが独自開発した導電性のあるセラミックス「コルシード」
コルシードは導電性がありますので導電性コーティングの必要が無く、そのまま使い続ける事ができるのが特長です。
金属と比較して耐薬品性があり、強度・精度を求める部品にご利用頂けます。
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導電性あり
静電気によるデバイス破壊を防ぎ、またコート剥がれ（パーティクル）発生が起こる導電性コートが必要ありません。
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薬品耐性あり
塩酸・硫酸・フッ酸などの薬品を使用する環境で使えます。
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硬度：Hv9
保持・搬送プロセスにおけるシリコンウエハーと硬度差による磨耗発塵と接触ダメージを軽減します。
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緻密質
優れた表面粗さはミクロのチリや埃を寄せ付けず、クリーン度が要求される環境での使用に最適です。
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特長
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コルシードは、コートのように剥離をしないのでパーティクル対策が可能
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コルシードは、静電気対策として搬送アーム、チャックに使用可能
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コルシードは、比較的ヤング率が高いため、金属よりもたわみが少ない
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コルシードは、気孔が少ないため汚れがつきにくい用途に使用可能
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コルシードは、硬さはシリコンと同等のため、シリコンに対して傷がつきにくい
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目的・用途
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静電気対策
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お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間：9:00～17:00（土日祝休み）
FAX : 026-251-2160
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