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セラミックス製品 製造装置用大型部品

製 品

製造装置用大型部品

製造装置用大型部品

  • 製造装置用大型部品とは

  • 製造装置用大型部品とは

    大型アルミナセラミックスの用途としては、高強度・電気絶縁性・耐熱性・耐プラズマ性などのセラミックス特性を活かし、ディスプレイ製造装置用絶縁シールドやガラス搬送用ロボットハンドなどに使用されております。

    例えば最近の第10.5世代のディスプレイパネルではガラスサイズも3mを超える大きさになり、エンドエフェクターも4m近いものもあります。
    従来では2分割されていたものも一体化にする事により、プロセス特性の向上、精度、強度面、組立費用や時間短縮など大きなメリットを生むことでしょう。当社では2分割されているものを一体化することが可能です。そのため、プロセス特性の向上、精度、強度面、組み立て費用や時間短縮などが可能です。

目的・用途

  • 液晶パネルや有機ELの製造装置用パーツ

    ディスプレイパネルや有機ELの製造装置用パーツ

  • ガラス基板のクランプや耐プラズマ用/絶縁用パーツ

    ガラス基板のクランプや耐プラズマ用/絶縁用パーツ

  • 大型ガラス基板の搬送アーム部分

    大型ガラス基板の搬送アーム部分

特長

全長4.0mまで製造可能

長さ(mm) 巾(mm) 厚み(mm)
幅広 1450 1300 20
長物 4000 70 50
厚物 1500 100 60
巾広厚物 670 550 30

お問い合わせ

特注サイズや形状も、1点から承ります。
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