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多孔質セラミックス|セラミックス材料

材 料

多孔質セラミックス

多孔質セラミックス

多孔質セラミックスとは、内部に無数の気孔(ポーラス)があるセラミックスです。ポーラスにより熱伝導率が低く、軽量な素材になります。主にフィルター、バブラー、バキュームチャック、エア吹き出し等に使用されます。アルミナ系SiC系の二種類がございます。目的、用途に応じてご利用いただけます。物性表はこちらから。
  • 多孔質アルミナセラミックス

    アルミナを主成分とする多孔質セラミックスです。熱的・機械的特性のバランスがよく、比較的安価な材料です。重量は緻密なアルミナの約半分、耐熱温度は600℃~1600℃です。通気性や色別に6種類の材料をご用意しております。

    【AZP50】・【AZP60】・【AZP60B】・【AZPW40】・【AZPWB40】・【AZPV60】

    【AZPV60】New!

    独自技術により、気孔径を小さくしながらも通気性をアップさせることに成功しました。

    特徴

    ⦿通気性は従来の【AZPW40】の2倍、吸着力アップ。

    ⦿気孔径は従来の【AZPW40】の半分、吸着を均一化でき、
     ワークの変形を防止。
    用途

    ⦿ハンドの吸着口やチャックテーブルとして。

    ⦿ 薄く反ったワークの吸着に最適。


  • 多孔質SiCセラミックス

    SiCを主成分とする多孔質セラミックスです。アルミナでは対応できない環境(急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用・荷重)でご利用いただけます。重量は緻密なSiCの約半分、耐熱温度は1400℃~1600℃です。比較的たわみにくく、放熱しやすい特徴があります。通気性別に2種類の材料をご用意しております。

    【AZPS40】・【AZPVS60】

    【AZPVS60】 New!

    アルミナAZPV60のSiCバージョンとなります。

    特徴

    ⦿通気性は従来の【AZPS40】の26倍、吸着力アップ。

    ⦿気孔径は従来の【AZPS40】より小さいため、吸着を
     均一化でき、ワークの変形を防止。

    ⦿熱伝導性がよく、熱しやすく冷めやすいため、熱処理の
     工程で時間短縮が見込め、コストダウンに寄与。
    用途

    ⦿脱バインダー性や急熱急冷が求められるセッターに最適。

    ⦿軽量な放熱プレートとして。

  • 特長

  • 目的・用途

多孔質・素材ラインナップ

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZP50 (気孔率50%)

    アルミナ

    軽量化・断熱向け
    ほぼ閉気孔で形成され、材質は96%アルミナです。
    通常のアルミナと比較して、強度が3分の1程度です。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZP60 (気孔率60%)

    アルミナ

    軽量化・断熱・吸着・フィルター向け
    表面が滑らかでワークにキズが付き難く、AZPW40より応答性が落ちますが、部分吸着に向いています。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZP60B (気孔率73%)

    アルミナ

    軽量化・断熱・吸着・フィルター・光学関連治具向け

    AZP60の黒色バージョンです。
    光の反射を抑えた黒・グレー系色調のため、汚れが目立ちません。画像処理用や反射防止用に適しています。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPW40 (気孔率40%)

    アルミナ

    吸着・フィルター向け
    連通気孔で形成され、気孔径が大きいので吸着力が大きく、応答性に優れています。薄く沿ったワークにも対応します。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPWB40 (気孔率35%)

    アルミナ

    軽量化・吸着・フィルター・光学検査治具向け
    光の反射を抑えた黒・グレー系色調の吸着面のため、汚れが目立ちません。画像処理用や反射防止用に適しています。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPV60 (気孔率60%)New!

    アルミナ

    軽量化・吸着・フィルター向け

    通気性が高く吸着力に優れています。気孔径が小さいためワークを均一に把持、歪みを防ぎます。

     

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPS40 (気孔率40%)

    SiC

    吸着・フィルター・放熱板向け

    連続した気孔で形成され、気孔径が小さいため平滑性に優れます。研磨で表面を6ミクロン以下の鏡面に仕上げることができます。

  • 多孔質セラミックス アルミナ

    AZPVS60 (気孔率60%)New!

    SiC

    軽量化・吸着・フィルター・セッター・放熱板向け

    AZPV60のSiCバージョンです。通気性が高く、吸着力があります。
    熱伝導率が高く冷めやすいため、セッターとしてご利用いただけます。

多孔質SiCの微細加工

微細な連続気孔である多孔質セラミックスへ、さらに微細な加工も可能です。
小径穴加工や、細かな溝加工、突起加工、タップ加工など様々な加工が可能です。
ワークに合わせた吸着治具をはじめ、フィルターや金型用途、他パーツとの組合せなど、ご用途や仕様に合わせて製作します。

多孔質SiCの微細加工
穴加工:孔径φ0.7 厚み3t貫通 ピッチ1ミリ
多孔質SiCの微細加工
小サイズ製品:外径φ2.5×2.5L ザグリφ1.6×深さ2ミリ
多孔質SiCの微細加工
リブ加工:リブ幅0.5×高さ2ミリ
多孔質SiCの微細加工
ピン加工:□0.8深さ0.5ミリ
参考例の多孔質はすべて多孔質SiC「AZPS40」です。
材質やグレードによっては製作できない場合や、仕様の変更をお願いすることがございますが、まずはお問合せください。

多孔質セラミックスの製造実績寸法 (mm)

最小薄さ 最大厚さ 面積 長さ
厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 面積 厚さ 長さ
AZP50 0.2 ◻︎20 50 ◻︎50 15 ◻︎500 15 500 500
AZP60 0.2 ◻︎20 50 ◻︎50 15 ◻︎500 15 500 500
AZP60B 0.2 ◻︎20 50 ◻︎50 15 ◻︎500 15 500 500
AZPW40 0.5 ◻︎30 50 ◻︎200 20 ◻︎300 10 50 600

AZPWB40

0.5 ◻︎30 50 ◻︎200 20 ◻︎300 10 50 600
AZPV60                  
AZPS40 0.2 ◻︎20 50 ◻︎100 20 ◻︎310 20 50 600

AZPVS60

                 

※これ以上のサイズの製品をお求めの場合はお問い合せ下さい。
※形状によって製造可能寸法が異なりますので、目安としてご覧下さい。
※AZPV60 / AZPVS60 の数値は実証テスト後に入力いたします。

多孔質セラミックス特性値の比較

項目 単位 吸着・断熱・軽量化用 吸着用
アルミナ系 SiC系
AZP50 AZP60 AZP60B AZPW40 AZPWB40 AZPV60 AZPS40 AZPVS60
全気孔率 % 50 60 73 40 35 60 40 60
気孔径 μm 5〜40 5〜40 5〜40 50〜100 50~200 20~40 5~30 10~30
かさ密度 g/cm3 1.82 1.57 1.04 2.56 2.48 1.54 1.9 1.32
通気率 (×10-13m2) 0.8 5.73 - 100 270 200 6.1 160
主成分純度 % 96 96 - 95 90   98  
曲げ強度 MPa 60 35 30 76 22 28 80 4
誘電率 1MHz - - - 4.1 - 3.8 - 35.8
熱伝導率 W/(m・K) - - - 3 5 13.4 70 70.4
熱膨張係数 ×10-6 - - - 7.6 7.6 8 4.4 4.4
(RT-800℃) (RT-700℃)
色調 - グレー
軽量化 × ×
断熱 × × × ×
バキュームチャック ×
フィルター、
整流、噴射
×

特徴

軽い、断熱用 表面粗さが細かい。フイルムや薄いワークの吸着に適している。

画像処理用や反射防止用に適している。

気孔径が大きく、比較的通気性が良い。

画像処理用や反射防止用に適している。

AZP60よりも気孔径が小さく通気性の高い材料。 AZP60の特徴を持ち、強度がより大きく部分吸着が可能。 セッターに最適。高温下、ワークとアルミナとの反応を防ぐ対策として効果的。

セラミックと多孔質セラミックスの物性比較

  • 誘電率【1MHz】

    多孔質セラミックス 誘電率【1MHz】

    電気をどれだけ蓄えるかを示します。
    低誘電損失材はプラズマの均一性を向上させる働きを持ちます。

  • 熱伝導率

    多孔質セラミックス 熱伝導率

    物質内での熱の伝わり易さを示します。
    多孔質はこの値が低く、熱の変化に対して強い物質になります。

  • 気孔率【%】

    多孔質セラミックス 気孔率【%】

    物体の中にどれだけ気孔が存在しているかを示します。しかし、気孔の存在形状が違うため、気孔率=通気性ではありません。
    通気性に関してはお問い合わせ下さい。

  • 曲げ強度【MPa】

    多孔質セラミックス 曲げ強度【MPa】

    急激な負荷に対する強さを示します。
    緻密な物より強度は低下しますが他のメリットと比較しお選び下さい。

  • 嵩密度【g/cm3】

    多孔質セラミックス 嵩密度【g/cm3】

    体積当たりの重量を示します。
    普通のアルミナや炭化ケイ素より軽量化が可能です。

  • 通気率【×10-13m2】

    多孔質セラミックス 通気率【×10-13m2】

    多孔質セラミックスの通気率(JIS R 2115)です。
    アルミナとSiCの比較です。

  • ヤング率【GPa】

    多孔質セラミックス ヤング率【GPa】

    荷重に対するのび率を示します。この値が高いほど荷重に対して曲がらなく、剛性が強いと言えます。

多孔質セラミックスの参考動画

  • SiC 炭化ケイ素
    多孔質チャックの吸着テスト

  • 多孔質セラミック 非接触浮上ステージ

  • 大型多孔質チャックを使った吸着力テスト

  • 高温、強酸、強アルカリ雰囲気向け
    多孔質セラミックスバブラー

  • 多孔質セラミックス バブラー

  • 多孔質セラミックス 多方向フィルム吸着ピンセット

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