セラミックス製品無料レンタルチャック

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No	材質	全気孔率 (%)	気孔径 (μm)	多孔質の大きさ	サイズ (mm)
1	アルミナ系 AZPWB40	35%	50～200	φ150	φ170×20t
2	アルミナ系 AZPWB40	35%	50～200	φ28	φ40×8t
3	アルミナ系 AZPWB40	35%	50～200	φ78	φ95×10t
【1, 2, 3共通】特長：・密度が低く、軽量化向けです。（AZPW40に比べて通気率が倍以上あります。）・気孔径が大きいため吸着力が大きく、応答性に優れています。使用例：・厚物の吸着
4	SiC系 AZPS40	40%	5～30	φ150	φ170×20t
5	SiC系 AZPS40	40%	5～30	φ150	φ160×20t
6	SiC系 AZPS40	40%	5～30	φ45	φ45×6t
【4, 5, 6共通】特長：・開気孔のため薄いフィルムなどの吸着に優れています。・熱衝撃・耐薬品性に優れています。・静電気除去程度の導電性があります。使用例：・ワークの大きさでは部分吸着も可・厚物の吸着・画像処理および検査用・搬送用・フィルム、ウェハーなど薄物の吸着
7	アルミナ系 AZPW40	40%	50～100	φ120	φ140×22t
8	アルミナ系 AZPW40	40%	50～100	φ150	φ160×20t
【7, 8共通】特長：・気孔径が大きく、吸着力が強い、厚物や固いものの吸着に向いています。使用例：・厚物の吸着
9	アルミナ系 AZPB60	73%	5～30	φ150	φ160×20t
特長：・開気孔のため薄いフィルムなどの吸着に優れています。
10	アルミナ系 AZP60	60%	5～40	φ150	φ160×20t
特長：・密度が低く、軽量化向けです。・開気孔のため薄いフィルムなどの吸着に優れています。
【9, 10共通】使用例：・フィルム、ウェハーなど薄物の吸着・ワークの大きさでは部分吸着も可
12	アルミナ系　AZPV	60%	30~40	φ2(先端径)×27L(全長)　M5オネジ
特長：・ゴムパッドではワークが歪んでしまいますが、多孔質パッドはフラットな面で均一に吸着するためほとんど歪みが起きません。・穴の痕がつき難くなります。使用例：・ワーク：□3ミリ×0.2ｔ樹脂シート、基板 □10ミリ(280mg)が吸着できることを確認しています。
14	300mmx400mmx15t　AZP60	60%	５～40μｍ	270×380	300x400x20ｔ
特長：・最大500□まで対応可能です。使用例：・大型品のフィルムなどにおすすめ
15	□500×10t AZP60	60%	5～40μｍ	500×500	□580×20 t
16	φ50ｘ20t　ベースレスチャック AZP60	60%	5～40μｍ	φ50	φ50ｘ20ｔ
17	6＆8インチ兼用　ベースレスチャック AZP60	60%	5～40μｍ	φ200	φ200ｘ20ｔ
【15】特長：・500角の大型サイズの吸着が可能です。・吸着口は3ヶ所あり、φ6耐圧チューブを使用しています。使用例：・大型品のフィルムなどにおすすめです。【16、17共通】特長：・本体枠の無い吸着チャックです。・多孔質のみでの吸着使用を可能なため、薄く、小さく出来、本体が無いのでコスト面でもメリットがあります。・開気孔のため薄いフィルムなどの吸着に優れています。使用例：・吸着口は側面、φ6耐圧チューブ対応