セラミックス搬送ハンドウエハ外周吸着ハンド PeriZac 真空チャック式搬送ハンド搬送アーム｜ファインセラミックス製品

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンド

大気用

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。
一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。
吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクター）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。
メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。
PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。
歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けの製品です。
PeriZacは、Peripheral(外周)+ASUZAC の造語です。

特長
- 搬送時や接触により発生するベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制
- ウエハにダメージを与え難い材質をガイドに採用
- アスザック独自の接着剤を使用しない空洞一体技術で薄型化が可能
- 取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更に対応可能
- センサー取り付けなどのオプションに対応
- 大気仕様ハンド
ウエハ外周ハンドPeriZacの加工例のご紹介
- PeriZacは、ハンド先端の幅や根本の長さの変更、取り付け穴の加工が可能です。
- ハンド先端の幅を短くした場合について、一例をご紹介致します。
- お客様のご要望に応じて、対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。
- ハンド先端の幅が短い場合
12インチウェハ用図面

	価格 (※1)
他社のSUSライナー仕様	1
PeriZac	0.6

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　口座名義　アスザック株式会社　ファインセラミックス事業部

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5万円まで・・・300円
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