ウエハを浮かせて運ぶ新製品LeviZac™ 発売開始｜明日咲く通信メルマガ

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ウエハを浮かせて運ぶ新製品LeviZac™ 発売開始！

Vol.110　2020年12月23日

明日咲く通信編集員です。

2020年も残りわずかとなりましたが、皆様いかがお過ごしでしょうか。
長野県では、先週から降雪が続き、冬用タイヤが欠かせません。

今年は新型コロナの影響で自粛の一年でした。
海外ではワクチン接種が始まった一方、国内では第３波が猛威を振るっています。

来年は仕事や生活が「通常」に戻る年になることを祈りつつ、
2020年最後のメルマガをお届けします。

今号では、『ウエハを浮かせて運ぶ新製品LeviZac™ 発売開始！』についてご紹介いたします。

また、後半のケ・セラセラのコーナーでは、弊社海外営業担当がクリスマスに関するクイズを出題していますので、チャレンジしてみて下さい。

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◆今月のお知らせとホームページ更新状況◆
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★業界初★　非接触型ベルヌーイハンド・LeviZac™ 発売開始！

アスザックは今月より、反りのあるウエハを搬送できる大気用搬送ハンド LeviZac™ を発売いたしました。
８月に発売した外周吸着ハンド PeriZac™に続き、自社ブランド製品「第２弾」です！

大型ウエハに対応した浮上式のセラミックハンドでは業界初です。
Levi- は、Levitate (浮上させる) / Levity (軽さ) を意味します。

浮上はベルヌーイ方式を採用しました。
エア噴射による気流でウエハを浮上させ、張力により吸引・保持し、ウエハへの負荷を極限まで軽減させました。更に、ユーザー様のお悩みの一つ「薄く反ったウエハ」もラクラク搬送可能です。

8インチ用・12インチ用の2タイプ（標準品）をご用意しました。
常備在庫が有る場合、受注後、1週間以内に即納可能です。

また、根本の幅や取り付け穴の位置・サイズはご要望に応じてカスタマイズ可能です。
（但し、加工内容により日数が別途必要となります。）

気流が通る空洞部はセラミック内部に形成します。
接着剤やSUS蓋を使わないため、経年劣化による「蓋の剥がれ」や「接着剤からの発塵、アウトガス」といったリスクは一切なく、長期間安心してご利用頂けます。
また貼り合わせタイプより安価で、薄型化が可能です。

【主な特徴】

・薄く反ったウエハを搬送できます。
・ウエハへのストレスを大幅に軽減。
・アスザック独自の”空洞⼀体技術”で薄型化が可能。
・狭いスリットへも楽にウエハを搬入できます。
・接着剤不使用・一体物だから丈夫で長持ち。取替コストを節約。
・ウエハのズレ・落下防止のための外周ガイド以外は非接触を実現。

アスザック株式会社ファインセラミックス事業部技術営業チーム
TEL:026-248-1626、FAX:026-251-2160

または、お問い合わせフォームからもお問い合わせ・ご注文を承ります。

高通気性多孔質セラミックス（AZPV60）のハンド・デモ機貸し出します（無料！)

気孔径が小さく、通気性の高い、新・多孔質セラミックスAZPV60、実用化・第２弾！のお知らせです。
メルマガ108号では、チャックの無償貸出をご紹介いたしました。
これに続き、薄いワークもらくらく搬送できるハンドのデモ機をご用意しました。

AZPV60吸着パッド仕様搬送ハンド・デモ機　多孔質ハンド（30-23490-0A）

従来からあります多孔質材 AZPW45やAZPWB40は通気性は比較的高い材料ではありますが、気孔径が大きいため、薄いワークを吸着させると、部分的に過度な吸引負荷がかかり、ウエハを変形させてしまう不具合が起きました。
また、AZP60やAZPS40は気孔径が小さい材料ですが、通気性が低めのため吸着が不十分でした。

アスザックはこれら２つの課題（＜ウエハの変形＞と＜通気性の低さ＞）に取り組み、両方一度に解決できる新しい多孔質セラミックスAZPV60を開発しました。特殊な技術により、気孔の径を小さくしながらも通気性をアップさせることに成功しました。

また、AZPV60には、部分吸着ができるという利点もあるため反りウエハの搬送も可能です。
無料で貸し出しますので是非お試しください。

新・多孔質ハンド (AZPV60を使用)

● AZPV60の物性参考値

項目	単位	AZPV60
主成分	-	アルミナ
全気孔率	％	60
気孔径	μm	30
かさ密度	g/cm3	1.54
通気率	（×10-14)m2	200
曲げ強度	MPa	28
誘電率	1MHz	3.8
熱伝導率	W/(m・K)	13.4
熱膨張係数	×10-6	8
耐熱温度	（大気）℃	1600
色調	-	白

電気を通すアルミナのご提案

多くのユーザー様が抱える悩みの一つが「静電気」です。
今号では、静電気を逃がす特殊なセラミックスをご紹介いたします。

アルミナセラミックスは半導体業界において汎用的に使用されており、高強度および高剛性の特性からシリコンウエハなどを搬送するロボットハンドに多く利用されております。

これらのロボットハンドでは稼働する中で静電気がたまり、静電気を逃がす対策が求められています。
一般的に静電気による放電は、ESD（Electro Static Discharge）と呼ばれ、その対策の要求は加速度的に増加しております。
その背景として、スマートフォンなどに内蔵される電子部品の小型化が進み、ほんのわずかな静電気放電によっても回路破損がしやすくなっていることが挙げられます。

アルミナセラミックスは絶縁材であるため多くの場合、テフロンコートをはじめとする導電性フッ素樹脂コーティングを用いて導電効果を付与していましたが、REACH規制による影響からフッ素樹脂の使用が制限されている傾向にあります。

炭化ケイ素やその他導電性セラミックスによる代替材で導電性を付与することは可能ですが、それらはどれも割高でありアルミナの2倍程度の価格帯となってしまいます。

そこで、弊社はカーボンや重金属を使用せずに電気を通す純度99％以上のアルミナを開発いたしました。
機能面、価格面で満足のゆく静電気拡散アルミナをご提供いたします。

【静電気拡散アルミナの特徴】
　・高純度なアルミナのためコンタミの発生を抑えられます。
　・SiC（炭化ケイ素）と比較してコスト面で優位です。
　・フッ素樹脂コーティングより高い耐熱性があり耐久性があります。

当社新製品 PeriZac™ 好評発売中！

ウエハ外周吸着ハンド-PeriZac™は、搬送時や接触により発生するベベル部や裏面からのパーティクル発生を抑制します。
また、ガイドには、ウエハにダメージを与え難い材質を使用しています。
お客様のご要望に応じて、取り付け穴の加工、根本の長さ、幅の変更にも対応が可能です。
センサー取り付けなどのオプションにも対応できます。

ご興味のある方は、ぜひお気軽にお問い合わせください。

詳細はこちらから→

Fセラニュースを更新しました

有機珪素化合物の液含侵とその熱分解によるSiCおよびSi₃N₄の生成

現代の化学では、多くの有機珪素化合物が提供されており、それらを熱分解することによって珪素セラミックスが合成されている^32~41)（Table1）。
技術的観点からみると、製造工程で液相を用いることができるなら、繊維強化珪素セラミックス複合材料を作製する上でいくつかの有利な点がある。

続きはこちらから→

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　 ◆ケ・セラセラミックのひとこと◆
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毎朝霜が車のフロントガラスに降りてくるようになり、いよいよ待ち遠しい冬が長野県にやってきました！
なかなか旅行ができない状況のなかでも、休みモードに入った海外営業を担当しております私から、生まれ育ったアメリカの季節の味わいをお届けいたします。
日本でも子供に愛されているクリスマスについてのクイズです。
最後に答えを入れておきますので、チャレンジしてみて下さい。

① サンタさんのお家はいったいどこでしょう？
(ア) ノルウエー
(イ) スウェーデン
(ウ) 北極

② よく聞く噂によると、サンタの色（赤・白）はある有名な会社の影響らしいです。どこでしょう？
（ヒント：飲み物）

③ アメリカに「Santa Claus」という街があります。
(ア) ◯
(イ) ☓

④ クリスマスの最も一般的なデザートは？
(ア) クッキー
(イ) ケーキ
(ウ) アイスクリーム

⑤ サンタさんは悪い子には何をくれるでしょう？
(ア) 石炭
(イ) 定規
(ウ) 本

⑥ サンタのそりは何匹のトナカイに引っ張られて空を飛ぶでしょう？
(ア) ２匹
(イ) ９匹
(ウ) １０１匹

⑦ 子供がクリスマス・イブの夜、寝る前にサンタさんのために何の飲み物を出しておくでしょう？
(ア) ビール
(イ) 焼酎
(ウ) 牛乳

それでは、答え合わせの時間です！

① サンタさんは北極に住んでいると言われています。