新・多孔質セラミックスハンド（AZPV60）のデモ機を貸し出します（無料！）｜明日咲く通信 メルマガ

Vol.108　2020年11月19日

明日咲く通信 編集員です。
皆様のお役に立つような情報を配信していきますので、よろしくお願い致します。

寒さが増したかと思えば全国各地で春のように温かい日も続いておりますが、皆様いかがお過ごしでしょうか。

今号では、新・多孔質セラミックスの実用化・第２弾！としまして
搬送ハンド・デモ機の無償貸出についてご紹介致します。

また、後半のケ・セラセラのコーナーでは、弊社営業担当より休日に始めた将棋教室についてご紹介致します。

是非最後までご覧ください。

 

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◆今月のお知らせとホームページ更新状況◆
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新・多孔質セラミックスハンド（AZPV60）のデモ機を貸し出します（無料！）

気孔径が小さく、通気性の高い、新・多孔質セラミックスAZPV60、実用化・第２弾！のお知らせです。
前号では、チャックの無償貸出をご紹介いたしました。これに続き、薄いワークもらくらく搬送できるハンドのデモ機をご用意しました。

AZPV60吸着パッド仕様搬送ハンドデモ機　多孔質ハンド（30-23490-0A）



従来からあります多孔質材 AZPW45やAZPWB40は通気性は比較的高い材料ではありますが、気孔径が大きいため、薄いワークを吸着させると、部分的に過度な吸引負荷がかかり、ウエハを変形させてしまう不具合が起きました。
また、AZP60やAZPS40は気孔径が小さい材料ですが、通気性が低めのため吸着が不十分でした。

アスザックはこれら２つの課題（＜ウエハの変形＞と＜通気性の低さ＞）に取り組み、両方一度に解決できる 新しい多孔質セラミックスAZPV60を開発しました。特殊な技術により、気孔の径を小さくしながらも通気性をアップさせることに成功しました。

また、AZPV60には、部分吸着ができるという利点もあるため反りウエハの搬送も可能です。
無料で貸し出しますので是非お試しください。

新・多孔質ハンド (AZPV60を使用)

 

SEMICON　JAPAN VIRTUALに出展

アスザックはセミコン・ジャパン（バーチャル）に出展致します！

開催期間：2020年12月11日(金)～18日(金)
※事前登録が必要です。詳しくはSEMIからの案内をご参照下さい。


詳細はこちらから→

 

高通気性多孔質セラミックス（AZPV60）のデモ機貸し出します

メルマガVol.99でご紹介をした新型多孔質コレットに使用しております通気性の高い多孔質セラミックスは大型化が課題であり、小口径Φ50程度の大きさまでしか対応出来ずにおりました。
この度、アルミナ材質にてΦ160まで製作が可能となりましたので材質名をAZPV60として製造販売を開始いたします。

従来からあります弊社材質名のAZPW45やAZPWB40は通気性は比較的高い材料ではありますが、気孔径が大きいので薄いワークを吸着させると変形させてしまいます。

また、アルミナ純度が低い材料のため高温度での使用には不向きです。
これらの点を改良し、AZPV60は気孔径が30μｍと比較的小さく、主成分純度が高く1600℃までご使用できる高通気率アルミナセラミックスです。

Φ150の吸着ステージのデモ機をご用意いたしましたので是非お試しください。
吸引ポートはφ6耐圧チューブ対応仕様です。

●新・多孔質チャック（AZPV60使用）サイズΦ170×20ｔ（多孔質部Φ150）


● AZPV60の物性参考値

項目	単位	AZPV60
主成分	-	アルミナ
全気孔率	％	60
気孔径	μm	30
かさ密度	g/cm3	1.54
通気率	（×10-14)m2	200
曲げ強度	MPa	28
誘電率	1MHz	3.8
熱伝導率	W/(m・K)	13.4
熱膨張係数	×10-6	8
耐熱温度	（大気）℃	1600
色調	-	白

ウエハ外周ハンドPeriZacの加工例のご紹介

PeriZacは、本体の幅や根本の長さの変更、取り付け穴の加工が可能です。
本体中央部の幅を広くした場合の形状について、加工例をご紹介致します。

図1は、従来の形状（中央部の幅が狭い形状）になります。
図2は、中央部の幅を広くした形状になります。

中央部の幅を広くした場合、ウエハを支える4箇所のガイド部の大きさが小さくなるので、
ウエハとの接触面積を小さくすることができます。
お客様のご要望に応じて、加工対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。

●図1  従来の形状（フォーク部分の幅が狭い場合）

●図2  フォーク部分の幅を広くした場合の形状

詳細はこちらから→

Fセラニュースを更新しました

珪素と炭素－高機能な高温用複合材料の鍵となる元素－

はじめに
　炭素繊維/炭素複合材料（Ｃ/Ｃ複合材料）と呼ばれるすべてが炭素でできている繊維強化複合材料は、高性能を得ることに成功しており、高温での極限構造部材としてすでに応用されている^1),2)。
　他方、SiCやSi₃N₄などの珪素セラミックスは、数十年も前から酸化抵抗性の高い耐熱材として用いられているが、未だにそのはなはだしい脆性は改善されていない。
　上に述べた炭素と珪素の二つの元素から構成されている材料は、将来の高温構造材料として最も期待される候補材料である。

続きはこちらから→

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　 ◆ケ・セラセラミック のひとこと◆
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紅葉が見頃を迎えています。
今年は自粛で長野に紅葉を観に来られなかった方も、来年はぜひ信州へお越しください。
信州の山を彩る紅葉は一見の価値ありですよ。

私は、この自粛ムードで何か新しいことが初めてみようと、将棋教室に通いだしました。
恥ずかしながら、将棋を打つことがなかったので、全くの初心者として、公民館のカルチャー教室に参加しました。
自分のような全くの初心者から全国大会に出場するような子たちまで、本当に幅広くいて、将棋人口が増えていることを実感しました。
初心者の私は、手が空いた先生に、先ずは駒の動きから丁寧に教えていただき、その後、いくつかの基本の形や戦法についても教えて頂きました。


将棋の先生たちは、始めたばかりの子が将棋を嫌いにならないように、先輩の子どもたちに、時々ちゃんと負けてあげることを教えたり、将棋が強くても手を抜いたり、教室を走り回るようなら、一喝する場面もあったり、将棋教室って意外と体育会系！でした。

是非、この機会に、みなさんも新しいことに挑戦してみてはいかがでしょうか。

それでは、明日咲く通信をどうぞよろしくお願いいたします。