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耐プラズマ性新素材に関するアンケート|明日咲く通信 メルマガ

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耐プラズマ性新素材に関するアンケート

Vol.118 2021年7月30日

皆様、こんにちは。

明日咲く通信 編集局長です。
いつもメルマガをお読みいただきありがとうございます。


梅雨が明け、猛暑日が続きますが、皆様いかがお過ごしでしょうか。

 

 

東京五輪がいよいよ開幕しましたね。
早速、日本人選手の金メダル獲得が続出し、まさにゴールドラッシュになっています。

この連休は私もテレビで開会式やいくつかの競技を観ていました。
スーパーアスリートの凄さには圧倒されますが、過酷な練習を重ねても、本番で失敗してしまう選手の姿にも何か心打たれるものがあります。


2013年に候補地が東京に決まり歓喜と共に出発したTOKYO2020。
それから8年。ロゴのデザイン問題に始まり、関係者の辞任、そしてパンデミック。
多難な道のりでしたね。


海外からの観客受け入れ中止や無観客など、異例ずくめの五輪ですが、新競技の面白さに触れたり、
選手の姿から何か教訓や勇気、感動を得られる17日間になればと思っています。


さて、今号では、新材料の開発に向けたアンケート調査を企画いたしました。


現在、弊社では、半導体の製造工程などで広く使われるプラズマに耐性のある新素材の開発に取り組んでおります。


そこで、お客様のお困り事・課題やご意見を開発に取り入れたいと考えております。
どうかメルマガをご愛読者の皆様にご協力を頂けましたら幸いです。


また、後半の「ケ・セラセラミックのひとこと」では、弊社海外営業チームに新しく加わりました社員より、新しい土地での休日について紹介していますのでどうか最後までお付き合い下さい。


 

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◆アンケートにご協力をお願い申し上げます◆
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耐プラズマ性新素材の開発

半導体プロセスにおける要求は更に厳しくなり、近年では線幅2nmプロセスの技術が開発され微細化が進んでいます。また、エッチングや成膜でのプラズマの威力は益々強力になっています。


このような環境の中で、下記のようなお困りごとはございませんか?


  • ・『チャンバー内パーツの消耗レートが高く、コストやメンテナンス性で困っている』
  • ・『今は表面処理をしているが、剥がれやパーティクルなどの課題がある』
  • ・『新装置を検討するにあたり、耐プラズマ性のある新素材を検討したい』

 

など。。


アスザックでは、お客様にとって有益な課題解決にお役立ていただける材料開発を目指して様々な視点からアイデアを出し、新素材の試作・検討を行っております。


そこでこの度、お客様のお声を反映した更なる材料開発を進めていきたいと考えております。アンケートの設問数は5つで選択式が中心の簡単なものとなっておりますので
どうかご協力賜りますようお願い申し上げます。

 
◆◆アンケート◆◆
[耐プラズマ性新素材に関するアンケート入り口]


ご協力、有難うございました。
アンケートの集計結果は、後日、このメルマガ上でご報告いたします。


また、具体的なご相談・ご質問等がございましたら「メルマガのアンケートを見た」と最初にご明記の上、下記のリンクよりお問い合わせください。ぜひ皆様の率直なお声をお寄せ下さい。


お問い合わせフォーム





Fセラニュースを更新しました

E. 焼結機構の実験


 図1で示したような球体間のネックの成長を観察するために、通常の鉱物顕微鏡を着装した高温微小加熱炉がつくられた。それは二つの溝を有する接点で取り付けられた電気加熱ヒーターより成っている(図3)。一つの接点はアースされ、もう一方はコバールシールで接続されている。パワーは、定電圧調節器バリアック、トランスから供給されている。炉は、拡散ポンプに接続されており、タングステンフィラメントにより真空、ヘリウム、水素の雰囲気で2200 ℃まで使用可能である。白金フィラメントは、酸化状態で1400 ℃まで使用可能である。測度は、フィラメント上の試料融点で補正されたパイロメーターで測定される。

続きはこちらから→



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  ◆ケ・セラセラミック のひとこと◆
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いつもメルマガをお読みいただきありがとうございます。
営業部・カスタマーサービスチーム担当のグラムです!

先日4連休で久しぶりに外に出かけることが出来ました。今回はその紹介をしたいと思います。


長野県須坂市に引っ越して半年が経ち、近くの須坂動物園に初めて行きました。


地元のセントルイス市の動物園には子供のころ毎年行きましたので、動物園が大好きで、近くに動物園があると聞いた時、必ず行きたいと思いました。


須坂市は都会ではないですが、須坂動物園は意外と広くて、動物の種類が多かったです。
写真の通り、ペンギン、ヤギ、アヒルなどもありましたが、その他、虎、アライグマ、フラミンゴ、プレーリードッグもいました。









すべて見終えたと思いましたが、途中で、「本園はこちらです」という看板を見てびっくりしました。


天気がよく、気温が暑かったので、人間も動物もあまり元気がありませんでしたが、やっと行けてよかったと思います。
須坂市に来ることがありましたら、ぜひ足を運んでください!



おまけで、下記の写真もその日に撮りました。この雲は何のように見えますでしょうか?


私にとってはドラゴンのように見えます。

今号も最後までお読みいただきありがとうございました。
猛暑が続きますが、空を見上げて入道雲の形を観察してみるのも楽しいかもしれません。

では次回のメルマガも是非ご期待下さい。



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