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ブラックアルミナ|セラミックス技術コラム

セラミックス技術コラム

ブラックアルミナ

黒い色調のアルミナ系セラミック「ブラックアルミナ(AR(B))」は、アルミナの機械的特性を保有しつつ、低反射率を持った素材です。

現在半導体・液晶製造装置用のアルミナ系ファインセラミックスは、白色又はアイボリー系が主力で、光源周囲や焦点面周囲の部品として使用された場合、光を反射し、フレア等の原因となりますが、ブラックアルミナは、ファインセラミックスの特長である強度、耐久性を維持しながら、表面反射を抑える事ができます。
(反射率は波長240~2600nmで5.1~15.3%)

純度は、99.9%アルミナと同等で不純物も少なく、大気中での使用可能温度は 300℃と光源近くの過酷な使用環境に耐えることができます。


ご参考までに当社アルミナ99.6%との比較表を掲載いたします。
項 目 ブラックアルミナ アルミナAR-99.6
純 度 99.9 99.6
密 度 g/cm3 3.75 3.94
色 調   黒色 象牙色
機械的特性 曲げ強さ MPa 539 370
ヤング比 GPa 363 390
ポアソン比   0.23 0.24
破壊靭性 MPam1/2 3.2 4.0
硬さ Hv:GPa 10.6 14.7
熱的特性 熱膨張率 常温~800℃ 8.1×10-6 7.7×10-6
熱伝導率 W/m・K 31.2 32
比熱 J/kg・K 0.80×103 0.78×103
電気的特性 誘電率 1MHz 16.7 10.2
tanδ 1MHz 0.001 0.007
体積抵抗率 Ω・cm 1×1014以上 1×1015以上
絶縁破壊電圧 kV/mm 9.3 13
※上記数値は保証値ではございません。製品形状や使用状態により異なる場合がございます。

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