ブラックアルミナ|セラミックス技術コラム
セラミックス技術コラム
ブラックアルミナ
黒い色調のアルミナ系セラミック「ブラックアルミナ(AR(B))」は、アルミナの機械的特性を保有しつつ、低反射率を持った素材です。
現在半導体・液晶製造装置用のアルミナ系ファインセラミックスは、白色又はアイボリー系が主力で、光源周囲や焦点面周囲の部品として使用された場合、光を反射し、フレア等の原因となりますが、ブラックアルミナは、ファインセラミックスの特長である強度、耐久性を維持しながら、表面反射を抑える事ができます。
(反射率は波長240~2600nmで5.1~15.3%)
純度は、99.9%アルミナと同等で不純物も少なく、大気中での使用可能温度は 300℃と光源近くの過酷な使用環境に耐えることができます。
ご参考までに当社アルミナ99.6%との比較表を掲載いたします。
※上記数値は保証値ではございません。製品形状や使用状態により異なる場合がございます。
現在半導体・液晶製造装置用のアルミナ系ファインセラミックスは、白色又はアイボリー系が主力で、光源周囲や焦点面周囲の部品として使用された場合、光を反射し、フレア等の原因となりますが、ブラックアルミナは、ファインセラミックスの特長である強度、耐久性を維持しながら、表面反射を抑える事ができます。
(反射率は波長240~2600nmで5.1~15.3%)
純度は、99.9%アルミナと同等で不純物も少なく、大気中での使用可能温度は 300℃と光源近くの過酷な使用環境に耐えることができます。
ご参考までに当社アルミナ99.6%との比較表を掲載いたします。
項 目 | ブラックアルミナ | アルミナAR-99.6 | ||
---|---|---|---|---|
純 度 | % | 99.9 | 99.6 | |
密 度 | g/cm3 | 3.75 | 3.94 | |
色 調 | 黒色 | 象牙色 | ||
機械的特性 | 曲げ強さ | MPa | 539 | 370 |
ヤング比 | GPa | 363 | 390 | |
ポアソン比 | 0.23 | 0.24 | ||
破壊靭性 | MPam1/2 | 3.2 | 4.0 | |
硬さ | Hv:GPa | 10.6 | 14.7 | |
熱的特性 | 熱膨張率 | 常温~800℃ | 8.1×10-6 | 7.7×10-6 |
熱伝導率 | W/m・K | 31.2 | 32 | |
比熱 | J/kg・K | 0.80×103 | 0.78×103 | |
電気的特性 | 誘電率 | 1MHz | 16.7 | 10.2 |
tanδ | 1MHz | 0.001 | 0.007 | |
体積抵抗率 | Ω・cm | 1×1014以上 | 1×1015以上 | |
絶縁破壊電圧 | kV/mm | 9.3 | 13 |
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