搬送ハンド ロボットセンターのご紹介 ｜セラミックス技術コラム
セラミックス技術コラム
搬送ハンド ロボットセンターのご紹介
アスザックでは、ウエハ搬送工程の検証設備を社内に備えており、特注搬送ハンドの試験が可能です。
搬送ハンドの位置精度や繰り返し精度、耐久性等を確かめることができ、ユーザー様の特注搬送ハンド製作、調達をサポートいたします。
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実施可能な試験
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搬送速度確認
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搬送中の振動確認
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搬送後のウエハのパーティクル測定
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搬送回数に応じたウエハの位置ズレ（繰り返し精度）の計測
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ウエハ裏面への傷の付き方の確認
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ウエハ保持部のPADの面粗さ測定
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各種試験やセラミックハンドの試作のご相談は、お気軽にご相談ください。
お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間：9:00～17:00（土日祝休み）
FAX : 026-251-2160