中空アルミナ｜セラミックス技術コラム

弊社では中に空洞部を持った構造のセラミックスを製作できます。
構造は積層型と、空洞一体型の2種類あります。空洞部分の形状は自由にカスタマイズ頂けますが、空洞一体型は、幅と高さに制約があります。
厚さが3mm以下であれば、空洞一体型が比較的安価です。

シリコンウエハー搬送用ロボットアーム、バキュームチャックなどのアプリケーション例があります。

積層型中空アルミナ

空洞一体成型品の大きさについて

空洞形状はストレート型、Y字型など任意に設計していただけます。
空洞の幅や長さなどは一部制約があり、下図を参考にしてください。

	最小	最大
A:全体の厚み	1.5	4
B:空洞部厚み	0.5	0.7
C:空洞部と表面の壁厚み	0.5	-
D:空洞部の幅	2	6
E:端面からの限界距離	2	-
F:吸着穴径	0.5	-
G:空洞部の長さ	-	360

(単位：mm)