オリジナル製品|セラミックス製 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド(LeviZac®)
オリジナル製品
浮上式標準ハンド
ベルヌーイハンド(LeviZac®)
ベルヌーイハンド(LeviZac®)とは
半導体の製造プロセスでは、ウエハパターンの微細化が進んでいます。
ウエハへの吸着痕やダメージレス、パーティクルレスなどへの解決策として、非接触ハンドの需要が増加しています。
そこで、当社では、セラミックス製オリジナルベルヌーイハンドを開発しました。
これは、独自の吹き出し穴の形状により、ウエハを吸引保持させるハンドです。
ウエハ外周3mm以内で保持が可能であり、ウエハへのダメージ低減やガイドとの接触によるパーティクル発生を抑制します。
金属製のハンドと比較して、高い強度を持ち、耐薬品性や耐熱性に優れています。
また、オプションとして、ESD対策、パーティクル対策への対応も可能です。
LeviZac 8インチ 水中動画
LeviZac12インチ 搬送動画
ベルヌーイハンド(LeviZac®)の加工例のご紹介
LeviZacは、ハンド先端の形状や根本の長さの変更、取り付け穴の加工が可能です。
I 型形状のハンドについて、一例をご紹介致します。
8 箇所の吹き出し穴を設けており、8 個のガイドでウエハを吸着させる形状になります。
お客様のご要望に応じて、対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。
4 インチウエハ対応のI 型ハンド
ベルヌーイハンド(LeviZac®)の加工例のご紹介
LeviZacは、吹出し穴の数や位置の変更が可能です。
12インチウエハ対応のY型ハンドについて、一例をご紹介致します。
6箇所や9箇所の吹き出し穴を設けており、4個のガイドでウエハを吸着させる形状になります。
お客様のご要望に応じて、対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。
価格 (※1) | |
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他社のSUSライナー仕様 | 1 |
ベルヌーイハンド | 0.6 |
お取引条件(よくお読み下さい。)
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御見積から商品がお手元に届くまで
1. お客様からの御見積依頼
(仕様打ち合わせ)
2. 弊社からお客様へ見積もり回答メール
(注文内容の詳細、送料、納期など)
3. ご注文
4. ご入金
5. 発送
6. お受取 -
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その場合、キャンセルとさせて頂きますのでご注意下さい。
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まずは、御見積フォームからお見積りください。
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決済方法
初回お取り引きは、前入金もしくは、代引き払いとなります。
入金先:八十二銀行 須坂支店 当座)2024442
口座名義 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
恐れ入りますが、振込手数料、代引き手数料はお客様のご負担となります。 -
お支払い期限
銀行振込の場合は、ご注文から1週間以内にお振込みください。
ご入金が確認でき次第、商品を発送させていただきます。
お支払方法に支障がある方、法人・団体様はご相談ください。 -
送料
一万円以上お買い上げの場合・・・無料
一万円未満お買い上げの場合・・・630円~1050円
距離と重さによって変わります。
注文時の最終ご確認メールでお知らせ致します。
代引き手数料
3万円まで・・・200円
5万円まで・・・300円
10万円まで・・・400円
30万円まで・・・500円 -
商品の引渡し時期
受注から5営業日出荷(加工条件により異なります。)
御注文数によりましては、別途お打ち合わせを頂く場合がございます。 -
返品
商品到着後7日以内に電話またはメールでご連絡ください。期限を過ぎると、返品をお受けできない場合がありますのでご注意ください。
返品の送料はお客様負担です。
商品の破損、サイズ違い、その他、弊社の不手際により不備が発生した場合は着払でご返送ください。
至急お取り替えいたします。
*ただし交換品がない場合は注文をキャンセルとし返金をいたします。
一度ご使用になった商品、お客様による素材への加工後の返品、交換はお受けできませんのでご了承ください。
加工後の商品の返品は致しかねます。素材のみの商品の返品、交換は致します。 -
キャンセル
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その場合、キャンセルとさせて頂きます。
また、加工開始後のキャンセルは承れませんのでご注意下さい。
お問い合わせ
特注サイズや形状も、1点から承ります。
お気軽にお問い合わせください。
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アスザック株式会社
ファインセラミックス事業部受付時間:9:00~17:00(土日祝休み)
FAX : 026-251-2160