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オリジナル製品|セラミックス製 浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド(LeviZac®)

オリジナル製品

浮上式標準ハンド
ベルヌーイハンド(LeviZac®)

浮上式標準ハンド ベルヌーイハンド(LeviZac®)

ベルヌーイハンド(LeviZac®)とは

半導体の製造プロセスでは、ウエハパターンの微細化が進んでいます。
ウエハへの吸着痕やダメージレス、パーティクルレスなどへの解決策として、非接触ハンドの需要が増加しています。
そこで、当社では、セラミックス製オリジナルベルヌーイハンドを開発しました。
これは、独自の吹き出し穴の形状により、ウエハを吸引保持させるハンドです。
ウエハ外周3mm以内で保持が可能であり、ウエハへのダメージ低減やガイドとの接触によるパーティクル発生を抑制します。
金属製のハンドと比較して、高い強度を持ち、耐薬品性や耐熱性に優れています。
また、オプションとして、ESD対策、パーティクル対策への対応も可能です。
浮上式標準ハンド

  • 特長

  • 形状

    図1は、ハンドにウエハを載せたときの外観です。図2は、ハンドの断面図です。
    ガイドは4箇所あり、ウエハ外周3mm以内で保持が可能です。
    吹き出し穴は4箇所あります。

LeviZac 8インチ 水中動画

LeviZac12インチ 搬送動画

ベルヌーイハンド(LeviZac®)の加工例のご紹介

LeviZacは、ハンド先端の形状や根本の長さの変更、取り付け穴の加工が可能です。
I 型形状のハンドについて、一例をご紹介致します。
8 箇所の吹き出し穴を設けており、8 個のガイドでウエハを吸着させる形状になります。
お客様のご要望に応じて、対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。


4 インチウエハ対応のI 型ハンド

浮上式標準ハンド

ベルヌーイハンド(LeviZac®)の加工例のご紹介

LeviZacは、吹出し穴の数や位置の変更が可能です。
12インチウエハ対応のY型ハンドについて、一例をご紹介致します。
6箇所や9箇所の吹き出し穴を設けており、4個のガイドでウエハを吸着させる形状になります。
お客様のご要望に応じて、対応致しますので、ぜひお気軽にお問い合わせください。


12インチウエハ対応のY型ハンド 12インチウエハ対応のY型ハンド
  価格 (※1)
他社のSUSライナー仕様 1
ベルヌーイハンド 0.6

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    入金先:八十二銀行 須坂支店 当座)2024442 
     口座名義 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

    恐れ入りますが、振込手数料、代引き手数料はお客様のご負担となります。

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    一万円未満お買い上げの場合・・・630円~1050円

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    3万円まで・・・200円
    5万円まで・・・300円
    10万円まで・・・400円
    30万円まで・・・500円

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