両面吸着ハンドのご提案｜セラミックス技術コラム

アスザックでは、長年培った空洞一体成形技術により、1本のハンドで、表面、裏面で異なる吸着方法のハンドの開発を行いました。

ご提案1

同一工程で、通常のウエハ搬送と薄くソリのあるウエハ搬送をする場合、同一ハンドで搬送が困難な場合があり、ハンドを2種類用意する必要があります。
こちらのハンドは反転することで、ウエハの特性に合わせた2種類の吸着ができるため、1本のハンドで搬送が可能です。
コストダウン、段取り時間短縮に如何でしょうか。
注）下記はストレートハンドですが、2又ハンドでの製作も可能です。

ご提案2

ハンドを表裏同時使用し、通常ウエハ以外に、装置内で使用する治具類の搬送用途はありませんか。
こちらのハンドなら、両面で吸着が可能であり、ウエハと同時に治具類の搬送が可能になります。
段取り時間短縮に如何でしょうか。
注）下記はストレートハンドですが、2又ハンドでの製作も可能です。

当社では、表裏で違った使い方をご提案できます。ご希望に合わせた組み合わせが可能です。

	例1	例2	例3	例4
表面	吸着12”タイプ	トレータイプ	吸着タイプ	吸着タイプ
裏面	吸着8”タイプ	吸着タイプ	ベルヌーイタイプ	CCDセンサー

注1. 空路は表用、裏用2系統あります。それぞれに制御をお願いいたします。
注2. 被吸着物の形状によっては、吸着出来ない場合もあります。その際は弊社にて、搬送テストも承ります。
注3. 各種表面処理も可能です。

ご希望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

【お問い合わせ先】
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業チーム
TEL:026-248-1626、FAX:026-251-2160
または、お問い合わせフォームからもお問い合わせ・ご注文を承ります。