세라믹스 다공질 척｜파인 세라믹스 제품｜파인 세라믹스 사업부 아스자크 주식회사

척 이란

미세한 구멍으로 구성된 다공질 세라믹스 척입니다.
다공질 세라믹스가 개발되기까지는 미세한 구멍을 뚫어 얇은 부품을 덧붙여 대응해왔으나,그 작은 굴곡으로 안해 필름, 웨이퍼 회로에 데미지를 주어 사용할 수 없는 경우가 많아 지고 있습니다. 다공질 세라믹스를 사용하는 것으로 개선 되어 필름, 웨이퍼 보존의 많은 도움이 되고 있습니다.

목적・용도

다공질 소형 흡착 패드
웨이퍼 척
다공질 대형 흡착 스테이지

미세한 구멍으로 구성된 다공질체여서
얇은 판 두께의 부품이나 필름 형태의 부품의 흡착에 적합합니다.

미세한 구멍으로 구성된 다공질체여서 얇은 판 두께의 부품이나 필름 형태의 부품의 흡착에 적합합니다.

흡착부「다공질 알루미나 세라믹스：AZPW-40」
외주부「치밀질 알루미나 세라믹스：AR-99.6」

수지 다공질에서는 사용할 수 없는 수백 도의 고온 환경에서도 세라믹이라면 견딜 수 있습니다.
부품 형태나 재질, 장착 장비, 사용환경에 따라서 개별 제품을 제작 합니다.
싸이즈나 형태, 베이스 부분의 재질등 다양한 사양에 대응합니다.
1개라도 제작이 가능하므로 샘플 생산및 다품종 부품의 오리지날 전용 척으로！

아스자크 독자개발
박형 다공질 척의 흡착 테스트
SiC 탄화규소 다공질 세라믹스
척의 흡착 테스트

기존 재품과의 구부러짐 비교

고무패드 타입
다공질 패드타입

・고무패드로는 부품의 일그러짐이 일어나지만, 다공질 패트는 평평한 면의 균일하게 흡착을 하기때문에 일그러짐이 일어나지 않습니다.
・구멍자국이 남지 않습니다.

부유중　공기압：0.3MPa（φ300×0.7t더미 웨이퍼）

다공질　비접촉 부상 스테이지

유리기판, 웨이퍼나 필름, 전자 부품이 반송 장치와의 접촉에 의한 흠집 및 오염 문제를 해소!
섬세한 다공질 세라믹스 전면에서 에어를 뿜어냄으로써 반송품을 비접촉으로 부상시킬 수 있습니다.

흡집이 생기지 않는다

접촉으로 인한 흠집이 잘 생기지 않습니다！
관리가
편해 진다

베어링이나 롤러등의 소모부품이 없어지기때문에 유지보수가 편해지고 장치의 컴팩트화가 가능합니다.！
반송작업의 간편화

다공질척에도 부상기능을 부여 시킬 수 있어, 가공등의 작업이 끝나면 부상시켜서 다음공정으로 이동시키기가 쉽습니다！
금속혼입이
발생하지 않는다

폴라스체(다공질)는 고순도 세라믹이므로 금속 혼입이 발생하지 않습니다！

접촉타입의 반송방법
롤러 컨베이어 등
비접촉타입의 반송방법
다공질 세라믹비접촉 부상

목적・용도에 맞는 소재나 사이즈도 대응 가능합니다.
테스트용 렌탈도 가능합니다.

흑색 척

흡착부「흑색 다공질 알루미나 세라믹스：AZPWB40」
외주부「흑색치밀질알루미나세라믹스：ARB99.6」

빛의 반사를 억제한 흑색의 흡착면입니다.
・광학검사치구용으로
・오염물질이 눈에 띄지않는다.
일체형 척

흡착부「다공질SiC세라믹스：AZPS40」
외주부「치밀질SiC세라믹스：ASiC」

・접착제를 사용하지않아 내열（600℃（대기））、대약품성에 뛰어나다.
・흡착부、본체가 같은SiC접합품이므로, 열전도율이 좋다（170.0W/(m・K)）。
・픅면에 흡착포트（Rc1/8）가 가공되어 있습니다.