다공질 세라믹스｜세라믹스 재료

재 료

다공질 세라믹스

다공질세라믹스

다공질 알루미나세라믹스

다공질 세라믹스란 내부에 무수한 공기구멍（포러스）가 있는 세라믹스 입니다.
포러스로 인해 열전도율이 낮고 가벼운 소재입니다.
주로 필터、버블러、진공 척、공기흡착기 등으로 사용됩니다.
다공율별로【AZPW40】、【AZPW45】、【AZP60】、【AZP-50】、【AZPWB40】이 있으니 목적 용도에 맞게 이용해 주시면 감사하겠습니다.
다공질SiC세라믹스

알루미나의 다공질 세라믹스와는 별도로 SiC의 다공질 세라믹스도 제공하고 있으니, 알루미나로 대응이 힘든 환경（급냉・급열・불산계의 약품사용）에도 많은 이용 부탁 드립니다.
급냉・급열이 필요한 광학렌즈제조금형에 사용해 보시면 어떤지요.
기공율40의【AZPS-40】를 준비하고 있습니다.

특징
- 다공질 세라믹스는 기체나 액체를 통과시킨다
- 다공질 세라믹스는 금속보다 경량화 되었으며, 세라믹 제품중에 가장 가볍다
- 다공질 세라믹스는 하우징과 다공질사이의 빈틈없는 가공이 가능합니다.
- 다공질 세라믹스는 미세한 전자부품의 부상도 가능합니다.
- 다공질 세라믹스는 부분 흡탁이 가능합니다.
- 다공질 세라믹스는 표면에 정밀하여 부품에 상처를 남기지 않습니다.
목적・용도
- 다공질 진공 척
- 부재의 경량화（비중：알루미늄보다 가볍다）
- 단열 플레이트
- 부상 목적으로
- 반도체 성막장치에서의 막의 박리 방지부재
- 저유전체로의 어플리케이션

기공율별 특징

AZPW-40　（기공율40％）
알루미나

박막제품 흡착에 적합
연통기공으로 형성되어 기공경이 크므로 흡착력이 크고 응용성이 뛰어납니다.

사용온도는 1000℃까지 사용가능
AZPW-45　（기공율43％）
알루미나

두거운 제품 흡착에 적합
AZPW-40의개량 타입으로 AZPW-40과 비교해서 공기구멍이 큽니다.
강도가 약하지만 응용성이 높습니다.

사용온도는 1000℃까지 입니다.
AZP-60　（기공율60％）
알루미나

흡착・경량화에 적합
표면이 매끄러워서 제품에 상처가 남지 않으며,AZPW-40보다 응용성은 떨어지지만 부분흡착에 용이합니다.
AZP-50　（기공율50％）
알루미나

경량화에 적합
거의 폐기공에서 형성되며 재질은 99.6% 알루미나입니다.
일반 알루미나와 비교하면 강도는 3분의 1정도입니다.
AZPWB40　（기공율35％）
알루미나

광학검사장치에 적합
빛의 반사를 억제하는 검은색・회색 계열의 색조로 흡착면을 형성하고 있어서 오염부분이 눈에 뛰지 않는다.
AZPS-40　（기공율40％）
SiC

흡착에 적합
연통기공으로 형성되어 기공 직경이 작기 때문에 평활성이 뛰어납니다.

진공 분위기에서 1400℃까지 사용 가능합니다

다공질SiC의 の미세가공

미세한 연속기공으로 이루어진 다공질 세라믹스에 더욱 정밀한 가공이 가능합니다.
소경 홀 가공이나 섬세한 홈 가공, 돌기 가공, 탭 가공 등 다양한 가공이 가능합니다.
재품에 맞쳐서 흡착 도구부터 필터나 금형용도 기타 부품과의 조합등 용도나 사양에 맞쳐서 제작 가능합니다.

홀 가공：구멍 크기φ0.7　두께3t관통　피치1밀리	소형 제품：외경φ2.5×2.5L 자그리φ1.6×깊이2밀리
리브가공：리브폭0.5×높이2밀리	핀 가공：직경0.8깊이0.5밀리

예시의 다공질은 전부 SiC「AZPS-40」입니다.
재료나 등급에 따라 제작이 힘든 경우나 사양변경 문의가 있을수 있습니다. 먼저 문의 부탁 드립니다.

다공질 세라믹스의 제조실적 사이즈 (mm)

	최소두께		최대두께		면적		길이
	두께	면적	두께	면적	두께	면적	두께	폭	길이
AZP-50	1	◻︎20	50	◻︎50	15	◻︎500	15	500	500
AZP-60	1	◻︎20	50	◻︎50	15	◻︎500	15	500	500
AZPW-40	1	◻︎30	50	◻︎200	20	◻︎300	10	50	600
AZPW-45	1	◻︎30	50	◻︎200	20	◻︎180	10	50	600
AZPS-40	1	◻︎20	50	◻︎100	20	◻︎310	20	50	600

※이 이상의 사이즈 제품이 필요한 경우 문의 부탁 드립니다.
※형태에 따라 제조가능 사이즈에 차이가 있으니, 참고 부탁 드립니다.

다공질 세라믹스 특성치 비교

항목	단위	흡착・단열・경량화용			흡착용
		알루미나 계열						SiC계열
		AZP50	AZP60	AZP60B	AZPW40	AZPW45	AZPWB40	AZPS40
전기공율	%	50	60	73	40	43	35	40
기공율	μm	5〜40	5〜40	5〜40	50〜100	300～1000	50～200	5～30
부피밀도	g/cm3	1.82	1.57	1.04	2.56	2.4	2.48	1.9
통기율	(×10-13m2)	0.8	5.73	-	100	-	270	6.1
주성붕순도	%	96	96	-	95	97	90	98
구부림강도	MPa	60	35	30	76	17	22	80
유전율	1MHz	-	-	-	4.1	-	-	-
열전도율	W/(m・K)	-	-	-	3	-	5	70
열팽창계수	×10-6	-	-	-	7.6	7.6	7.6	4.4
열팽창계수	(RT-800℃)	-	-	-	(RT-700℃)	(RT-700℃)	7.6	4.4
내열온도 （대기중）	℃	1600	1600	600	1400	1400	600	1400 （비활성분위기）
색조	-	흰색	흰색	검정	흰색	흰색	검정	회색
경량화		○	○	○	×	×	○	×
단열		○	○	○	×	×	○	×
진공척		×	○	○	○	○	○	○
용도		가볍다,단열용	표면이 매끄럽다.필름이나 얇은 제품의 흡착에 적합	검정색으로 화상처리용이나 반사방지용으로 적합. 위크용도에도 사용가능	버블러	공기구멍이 가장크다	검정색으로 화상처리용이나 반사방지용으로 적합.	AZP60의 용도를 겸비하여 강도 면에서 가장 강하다.부분 흡착도 가능
필터、정류、분사		×	○	○	○	○	○	○

문의는 여기에서

다공질 세라믹스의 참고 동영상

SiC 탄화규소
다공질 척 흡착 테스트
다공질 세라믹 비접촉 부상 스테이지
대형 다공질 척을 사용한 흡착 테스트
고온、강산、강 알카리 분위기에 적합한
다공질 세라믹 버블러
다공질 세라믹스 버블러
다공질 세라믹스 다방향 필름 흡착 핀셋

세라믹스와 다공질세라믹스의 물성비교세라믹스와 다공질세라믹스의 물성비교

유전율【1MHz】

전기를 얼마나 축적하는가를 나타냅니다.
저유전 손실재는 플라즈마 균일성을 향상시키는 기능을 가지고 있습니다.
열전도울

물질 내에서의 열 전달이 용이함을 나타냅니다.
다공질은 이 수치가 낮고 열 변화에 대해 강한 물질입니다.
기공율【％】

물체 속에 얼마나 기공이 존재하는지를 나타냅니다.그러나 기공의 존재 형상이 다르기 때문에 기공률=통기성이 아닌 것입니다.
통기성에 관해서는 문의해 주세요.
구부림강도【MPa】

급격한 부하에 대한 강도를 나타냅니다.
치밀한 것보다 강도는 떨어지지만 다른 장점과 비교하여 선택하여 주십시오.
부피 밀도【g/cm3】

부피당 중량을 나타냅니다.
보통의 알루미나, 탄화 규소보다 경량화가 가능합니다.
통기율【×10-13m2】

다공질 세라믹스의 통기율(JIS R 2115)입니다.
알루미나와 SiC의 비교입니다.
영 율【GPa】

하중에 대한 증가율을 나타냅니다.이 값이 높을수록 하중에 비해 휘어지지 않고 강성이 강하다고 할 수 있습니다.