세라믹스 제조 반송 핸드
제 품
반송 핸드
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반송 핸드란
실리콘 웨이퍼를 로봇을 사용하여 카세트나 프로세스 챔버에서 출납할 때 사용합니다.
세라믹을 사용하는 이유는 고강도로 인한 처짐방지,고온 환경에도 강해 금속 오염,발진 등의 문제점을 해결하기 위해 사용됩니다.
목적・용도
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공동일체형 핸드
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트레이식 핸드
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다공질 삽입 핸드
재 료
아래의 3종류에서 선택해 주세요.
※사이즈에 따라 제작 불가능한 재료도 있습니다.
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알루미나
전기 절연성이 높고, 내마모성, 화학적 안정성도 있는 반면 비교적 저렴하며, 파인 세라믹스의 대표적인 재료입니다.
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탄화규소(SiC)
다이아몬드, 탄화붕소에 버금가는 경도를 가지며 내열, 내마모성, 영률이 높고 열팽창 계수가 작은 화학적 안정성이 뛰어난 재료입니다.
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콜 시드
금속에 가까운 도전성을 가지며, 다른 재료보다 높은밀도를 가지고 있어 파티클 대책에 유용한 재료입니다.
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아웃가스제로접착제 미사용
아스자크의 중공일체형 반송 핸드
접착제를 사용하지 않고 공동을 성형할 수 있기 때문에 접착제를 사용함으로써 일어나는 문제의 우려가 없으며 제작비도 절감할 수 있습니다.
고온에서도 사용할 수 있어 내구성이 우수하며 유기계 아웃가스 대책에도 유리합니다.
일반환경에서 사용 가능한 핸드입니다. -
최소
(mm)최대
(mm)A전체 두께 1.5 4 B공동부의 두께 0.5 0.7 C공동부와 표면의 벽 두께 0.5 - D공동부의 폭 2 6 E단면에서의 한계거리 2 - F흡착구 크기 10 230 G공동부의 길이 - 360 ※제품사이즈에 따라 성능이 상이 하오니 자세한 내용은 문의 바랍니다.
문 의
특주사이즈나 형태도 1개부터 주문 가능합니다.
많은 문의 부탁드립니다.
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아스자크 주식회사
파인 세라믹스 사업부접수시간：9:00～17:00（토일축일 휴무）
FAX : 026-251-2160
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