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탄화규소（SiC)｜세라믹스 재료

재 료

탄화규소（SiC）

탄화규소（SiC）

  • 탄화규소(SiC)

  • 탄화규소(SiC)

    탄화규소는 1400℃이상의 고온에도 견디며, 열충격에도 강하며, 화학적 안정성이 아주 우수한 파인세라믹스 중에서 높은 내습성을 가진 소재입니다.
    영 율이 높고,열팽창계수가 작아서 고밀도를 필요로하는 부품에 사용되고 있습니다.
    최근에는 높은 열전도율로 인해 히터 주변부품으로의 사용이 늘고 있습니다.
    반도체장비에 사용 가능한 통상 등급（A-SiC）에서 중금속을 최대한 배제한 （SiC-3N)의 ２가지 등급을 라인업으로 준비하고 있습니다.

  • 특징

    • 탄화규소（SiC）는、열 전도율이 높다

    • 탄화규소（SiC）는、열충격에 강하다

    • 탄화규소（SiC）는、내마모성이 있다

    • 탄화규소（SiC）는、내열성이 우수하다

    • 탄화규소（SiC）는、내약품성이 있다

    • 탄화규소（SiC）는、비중이 가볍다

  • 목적・용도

    • 히터 주변부재

    • 내플라즈마부재

    • 반도체LED용 트레이

특징

아스자크에서는 일반적인탄화규소(A-SiC)와 별도로 고순도탄화규소(SiC-3N)의 등급을 라인업으로 준비하고 있습니다.
용도에 맞게 선택해 주십시요.

  • 탄화규소 SiC 특징

    탄화규소（A-SiC）

    일반적인SiC입니다. 고온, 고강도,고강성이 있어 기계적인 강도가 높은 소재입니다.

    고순도탄화규소(SiC-3N)

    SiC-3N은、당사의 일반적인SiC와 비교해 순도는 비슷하지만 중금속 성분을 최대한 줄인 소재입니다.

고순도탄화규소(SiC-3N)

SiC-3N는、중금속을 최대한 줄인 소재입니다.
당사의 일반적인 SiC와 비교해 순도적으로는 비슷하나 각 금속성분이 적게 나타나고 있습니다.
고순도탄화규소 SiC

  • 불순물성분 비교

    고순도탄화규소 SiC　불순물성분 비교
    ※A-SiC는、아스자크 오리지날의 일반적인SiC입니다.

SiC접합기술

내고온、열충격에 강하고, 화학적 안정성도 아주 훌륭한 고순도SiC를 접착제를 사용하지 않고 접합 합니다.
절삭 및 연삭에서는 어려운 복잡한 형상이나 고기밀 액체, 기체 유로를 일체 구조로 제작하여 부품 수 절감을 통한 비용 절감 및 신뢰성 향상에 공헌합니다.

  • 내열・내부식 가스용 노즐

    내열・내부식 가스용 노즐

  • 내열・내부식 가스용 노즐

  • 열교환액 순환로

    열교환액 순환로


이런 형태의 SiC가 필요하다는 요청이 있으시면 망설이지 마시고 문의 주십시요.
형상 및 사양에 따라 제작 가능 여부나 사양의 변경을 부탁드릴 수 있습니다만, 먼저 문의해 주십시오.

탄화규소 외 물성표

  ASiC SiC3N 알루미나 콜 시드 알루시마
순도 ％ - 99.9 99.6 - -
색조 - 검정색 검정색 상아색 흑회색 회색
밀도 g/cm3 3.14 3.19 3.94 4.24 2.41
기계 구부림강도 MPa 410 450 370 310 146
영 률 GPa 430 446 390 288 115
경도 GPa
28.0
28.0
 14.7 10 6.5
포아슨 비율 － 0.17 0.17 0.24 0.27 0.29
파괴 인성 MPa m1/2 2～3 2～3 4 3 1.4
열 열팽창률 x10-6
[상온～800℃]		 4.1 4.1 7.7 8.8 2.1
열전도율 W/(m・K)
170
140
 32 5.5 2.9
비울 J/(kg・K) 0.68×103 0.57×103 0.78×103 0.67×103 0.75×103
전기 유전율 [1MHz] － － 10.2 - 4.8
유전 정접 tanδ x10-4[1MHz] － － 70 - 50
체적저항률 Ω・cm 5×106 5×108 >1015 1 >1014
내전압 kV/mm － － 13 - 14.5
빛 반사율 ％
[파장240～2,600nm，
측정면Ra0.8정도］
11.1～25.1
17～31
 - 10.0～26.6 -
특징・용도 등   고내열성
고강도
내마모성
정전기대책
 고내열성
고강도
내마모성
정전기대책
 고강도
고절연성
내마모성		 도전성
（고온에서는
비활성분위기
에서 사용）		 저열팽창율
고내열
충격성
저열전도성
단열재
※파괴인성에 대해서 알루시마와 콜 시드는 SEVNB법으로 그 외의 소재는 SEPB법으로 측정합니다.



탄화규소 아스자크와 타사제조법과의 물성비교 예

메이커 　 아스자크 아스자크 A사 B사 C사
제품명 　 ASiC SiC3N
제조방법 　 상압소결 상압소결 핫 프레스 CVD Si-SiC
밀도 g・cm3 3.15 3.18 3.15 3.21 3.05
비커스 경도 　 28 28 22 26 ─
구부림 강도 Mpa 410 450 600 590 220
탄성율 Gpa 430 430 390 450 280
파괴인성 Mpa/cm^0.5 2.5 2.5 4.4 ─ ─
열팽창율 E-6/K 4.1 4.1 4.3 4 4.8
열전도율 W/m・K 170 140 230 250 225
※상기수치는 참고수치 입니다. 제품의 형대나 사용환경에 따라 달라 질 수 있습니다.
※반사율은 빛의 파장에 따라 달라집니다.상세한 정보를 원하시는 분은 별도 문의 부탁 드립니다.
※파괴인성에 대해서는 알루시마와 콜 시드만 SEVNB법으로 그외 소재는 SEPB법으로 측정했습니다.



알루시마와SiC（탄화규소）의 수중낙하 실험

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특주 사이즈나 형태도 1개부터 제작 가능합니다.
많은 문의 부탁드립니다.

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